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數(shù)字式單閥反應(yīng)釜壓力調(diào)節(jié)控制器EPC/壓力計(jì)： -- 直通式設(shè)計(jì)，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可） -- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。 -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定可靠的壓力測量和控制。 -- 基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。 -- 配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

反應(yīng)釜充氣自動控制EPC壓力控制器： -- 直通式設(shè)計(jì)，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可） -- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。 -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定可靠的壓力測量和控制。 -- 基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。 -- 配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

DeviceNet Pressure Controller 壓力控制器： -- ACU20PC系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制， -- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持DeviceNet協(xié)議。

控制前壓、背壓的壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器： -- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制， -- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus協(xié)議。

帶壓力測量數(shù)字信號及模擬信號高精度壓力計(jì)： -- 直通式設(shè)計(jì)，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。 -- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。 -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。 該數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。 -- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器： -- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制， -- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus協(xié)議。